学位

• 博士（情報理工）(東京大学)

経歴

学歴

受賞

• 優秀発表賞
• 優秀ポスター発表賞ファイナリスト
• 優秀技術論文賞 ファイナリスト
• 奨励賞
• 優秀発表賞
• 優秀発表賞
• 優秀講演論文賞表彰
• 若手優秀講演表彰
• 優秀ポスター賞
• Poster award
• センサ・マイクロシステム部門大会優秀論文発表賞
• 第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム若手優秀講演表彰
• 第35回大会 優秀ポスター賞（2位）
• 第39回センサシンポジウム奨励賞
• 文科省ナノテクプラットフォーム 令和3年度「秀でた利用成果」最優秀賞
• 2020年度秀でた成果最優秀賞
• 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞受賞
• 若手優秀講演フェロー賞
• 第34回センサシンポジウム奨励賞
• 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会）奨励賞
• 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門若手優秀講演表彰
• 日本機械学会若手優秀講演フェロー賞
• 若手優秀講演フェロー賞
• マイクロ・ナノ工学部門若手優秀講演表彰
• 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞
• 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞受賞
• 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞
• 第34回センサシンポジウム優秀ポスター賞
• 第34回センサシンポジウム優秀ポスター賞
• 第34回センサシンポジウム優秀技術論文賞
• 電気学会優秀論文発表賞
• 電気学会E部門総合研究会優秀論文発表賞
• ベストペーパー賞

その他

論文

• Study on Temperature-Dependent Photoresponsivity and Stability of Mid-Infrared Photodetector Based on Si-Process-Compatible Plasmonic PtSi/p-Si Schottky Structure [DOI] [Othres link] [Othres link]
• Bacteria break through one-micrometer-square passages by flagellar wrapping [DOI] [Othres link]
• Advanced Room-Temperature NIR Plasmonic Photodetection and Reconstructive Spectroscopy [DOI] [Othres link]
• Biodegradable RF Metamaterial Perfect Absorber for Wireless Soil pH Monitoring [DOI] [Othres link]
• High-selectivity NIR amorphous silicon-based plasmonic photodetector at room temperature [DOI]
• Plasmonic photodetector with submicron grating for reconstructive spectroscopy of low-intensity broadband light [DOI]
• Assessment of Driver’s Head Acceleration during a Possible Car Skidding Effect [DOI] [Othres link]
• Biodegradable Cuboid Isotropic Metamaterial for Wireless Soil Monitoring [DOI] [Othres link]
• Entirely Biodegradable Wireless pH Sensor with Split‐Ring Resonators for Soil pH Monitoring [DOI] [Othres link]
• Optimizing geometry and metal-dependent performance of Si-based Schottky plasmonic photodetectors [DOI]
• Characterization of an uncooled mid-infrared Schottky photodetector based on a 2D Au/PtSi/p-Si nanohole array at a higher light modulation frequency [DOI] [Othres link]
• ARCaDia: single-round screening of a DNA-type targeted covalent binder possessing a latent warhead [DOI] [Othres link]
• Near-infrared gas spectroscopy based on plasmonic photodetector applied for multiple gas species [DOI] [Othres link] [Othres link]
• Detection of backside coupled propagating surface plasmon resonance on the sidewall of a wafer [DOI] [Othres link]
• (総説)表面プラズモン共鳴を利用したシリコン製MEMS赤外光センサの研究 [ResearchMap]
• Spiral Chiral Metamaterial Structure Shape for Optical Activity Improvements [DOI] [Othres link] [ResearchMap]
• Electromechanically reconfigurable plasmonic photodetector with a distinct shift in resonant wavelength [DOI] [Othres link] [Othres link]
• Si-based mid-infrared photodetector with dynamic Schottky barrier height modulation applicable for synchronous detection [DOI] [Othres link] [Othres link]
• Grating-Based Surface Plasmon Resonance Sensor for Visible Light Employing a Metal/Semiconductor Junction for Electrical Readout [DOI] [Web of Scientce] [Othres link]
• Plasmonic mid-infrared photodetector with narrow trenches for reconstructive spectroscopy [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Room-temperature plasmonic mid-infrared photodetector based on PtSi/p-Si low Schottky-barrier junction [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Near-Infrared Spectroscopic Gas Detection Using a Surface Plasmon Resonance Photodetector with 20 nm Resolution [DOI] [Web of Scientce]
• Si-Based Infrared Detector Using Organic Nano-Dot Array [DOI] [Othres link]
• S/N ratio improvement of a nanocuboid array photodetector based on a Au/n-Si Schottky junction for broadband near-infrared light [DOI] [Web of Scientce] [Othres link] [Othres link]
• Si grating structure for surface plasmon resonance excitation by back-side normal incidence illumination [DOI] [Web of Scientce]
• 研究紹介：光を操るシリコンプラズモンアンテナ
• Densely Arrayed Active Antennas Embedded in Vertical Nanoholes for Backside-Illuminated Silicon-Based Broadband Infrared Photodetection [DOI] [Web of Scientce]
• 可変 3D キラル THz メタマテリアルのための機械的変形方法の研究 [DOI]
• Micro Water Flow Measurement Using a Temperature-Compensated MEMS Piezoresistive Cantilever [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce]
• Self-focusing 3D lithography with varying refractive index polyethylene glycol diacrylate [DOI] [Web of Scientce]
• Au Nanospirals Transferred onto PDMS Film Exhibiting Circular Dichroism at Visible Wavelengths. [DOI] [PubMed] [PubMed Central]
• Tunable and nonlinear metamaterials for controlling circular polarization [DOI]
• Reconfigurable Surface Plasmon Resonance Photodetector with a MEMS Deformable Cantilever [DOI] [Othres link]
• Extension of the Measurable Wavelength Range for a Near-Infrared Spectrometer Using a Plasmonic Au Grating on a Si Substrate [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce]
• Electrical detection SPR sensor with grating coupled backside illumination [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Highly sensitive and low-crosstalk angular acceleration sensor using mirror-symmetric liquid ring channels and MEMS piezoresistive cantilevers [DOI] [Web of Scientce]
• Compact surface plasmon resonance system with Au/Si schottky barrier [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce] [Scopus] [Scopus]
• Electrically detectable surface plasmon resonance sensor by combining a gold grating and a silicon photodiode [DOI] [Web of Scientce]
• 薄膜メタマテリアル実現に向けたフレーム構造のTHz応答解析 [DOI] [J-GLOBAL]
• Near-infrared Si based photodetector using Au/Si nano-antenna structures [DOI]
• NIR spectrometer using a Schottky photodetector enhanced by grating-based SPR [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Scalable fabrication of microneedle arrays via spatially controlled UV exposure [DOI] [Web of Scientce]
• Rigid two-axis MEMS force plate for measuring cellular traction force [DOI] [Web of Scientce]
• Silicon based near infrared photodetector using self-assembled organic crystalline nano-pillars [DOI] [Web of Scientce]
• Enantiomeric switching of chiral metamaterial for terahertz polarization modulation employing vertically deformable MEMS spirals [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce]
• Out-of-plane actuation with a sub-micron initial gap for reconfigurable terahertz micro-electro-mechanical systems metamaterials [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Stretchable cell culture platforms using micropneumatic actuators [DOI] [Web of Scientce]
• Batch fabrication of a double-layer metamaterial resonator using scalloping structures [DOI] [Web of Scientce]
• Spiral metamaterial for active tuning of optical activity [DOI] [Scopus] [Scopus]
• Measurement method for light transmittance of layered metamaterials [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• A photoresponse-compensated parallel piezoresistive cantilever for cellular force measurements [DOI] [Scopus] [Scopus]
• Ratiometric Optical Temperature Sensor Using Two Fluorescent Dyes Dissolved in an Ionic Liquid Encapsulated by Parylene Film [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce]
• Design of a piezoresistive triaxial force sensor probe using the sidewall doping method [DOI] [Web of Scientce]
• Simultaneous detection of particles and airflow with a MEMS piezoresistive cantilever [DOI] [Web of Scientce]
• Electrochemical impedance measurement of a carbon nanotube probe electrode [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Optical measurement of directional strain by scattering from nano-disk pairs aligned on an elastomer [DOI] [PubMed] [Web of Scientce]
• Mechanical impulses can control metaphase progression in a mammalian cell [DOI] [PubMed] [PubMed Central] [Web of Scientce]
• Long-range surface plasmon resonance sensor with liquid micro-channels to maintain the symmetry condition of the refractive index [DOI] [Web of Scientce]
• Tunable gold-coated polymer gratings for surface plasmon resonance coupling and scanning [DOI] [Web of Scientce]
• 開口マスクによるシリコン3次元斜面形状の作製 [CiNii Research (CiNii Articles)] [DOI]
• Planar near-infrared surface plasmon resonance sensor with Si prism and grating coupler [DOI] [Web of Scientce]
• Piezoresistor-equipped fluorescence-based cantilever probe for near-field scanning [PubMed] [CiNii Research (CiNii Articles)] [DOI] [Web of Scientce]

その他業績

• 研究室だより：電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻 菅研究室
• 国際会議報告：The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021) [DOI] [CiNii Research] [Othres link]
• ショットキー障壁を用いた表面プラズモン共鳴の電気的検出 [J-GLOBAL]
• MEMSによるシリコンを用いた光デバイス：赤外線センサや可変フィルタの展開
• シリコンMEMSプラズモニック構造による光電気的検出を利用したセンサの展開—Advances of Silicon MEMS Sensors Employing Electrical Detection of Plasmon—MEMSセンサ研究開発の最前線 [CiNii Research]
• シリコンを材料に用いた赤外光検出器

講演・口頭発表等

• メタマテリアルを用いた土壌ワイヤレスモニタリングセンサ
• 半導体型表面プラズモン共鳴センサによるワンチップ化学量センシングの実現に向けて
• Mid-infrared detection using Si-technology compatible plasmon enhanced Schottky structure
• DRILLING BACTERIAL MOTILITY IN CONFINED SPACES NVESTIGATED USING SUB-MICRON WIDTH FLUIDIC CHANNELS
• SUB-MICRON-THICK SI MEMBRANE SURFACE PLASMON COUPLING STRUCTURE FOR REDUCING UNWANTED PROPAGATION MODES INSIDE SI [ResearchMap]
• NARROW ELECTRODE SPACING FOR ENHANCED SENSITIVITY OF PTSI/P-SI NANOHOLE-ARRAY MID-INFRARED PHOTODETECTOR
• ACOUSTICALLY DRIVEN SCANNING MIRROR ENHANCED BY HELMHOLTZ RESONATOR UNIT
• OPTICAL CANTILEVER USING DIFFRACTION GRATING AND SAMPLING MOIRÉ METHOD
• Advanced Room-Temperature NIR Plasmonic Photodetection and Reconstructive Spectroscopy [ResearchMap]
• Verification of Protein Detection Using a Current-Detection Surface Plasmon Resonance Sensor with a Gold Grating on Silicon
• Development of PtSi/p-Si Schottky Mid-Infrared Photodetector for Room-temperature Non-Invasive Blood Monitoring applications [ResearchMap]
• 表面プラズモン共鳴を利用したMEMS赤外分光器 [ResearchMap]
• スプリットリング共振器を用いた胃の蠕動運動センシングのための可食性ワイヤレスセンサ [ResearchMap]
• 電磁波を用いた可食センサのワイヤレス位置・動き特定 [ResearchMap]
• メタマテリアル完全吸収体を用いた自然分解性ワイヤレス土壌尿素センサ [ResearchMap]
• 電流検出型表面プラズモン共鳴センサを利用した分光器の小型化検討 [ResearchMap]
• 電流検出型表面プラズモン共鳴センサのアレイ化の検討 [ResearchMap]
• ワイヤレス土壌モニタリングのための生分解性中空等方性メタマテリアル [ResearchMap]
• 生分解性材料で構成した等方性メタマテリアル [ResearchMap]
• シート型マイクロ波メタマテリアルセンサによる安定的な土壌特性評価法 [ResearchMap]
• 2次元回折格子を備えたSPR式光検出器 [ResearchMap]
• 薄型Si層を用いた背面照射型SPR化学量半導体センサの研究
• バクテリア運動の流路幅依存性検証のためのマイクロ流路デバイスの研究 [ResearchMap]
• 常温での界面特性を改善した近赤外光検出の強化
• マイクロ流路における管状微粒子の姿勢評価
• レーザアニールを用いて一括製作したピエゾ抵抗型カンチレバー
• 2D ナノホールベースの PtSi/p-Si 中赤外線検出器の光感度に対する温度の影響 [ResearchMap]
• 金回折格子構造による電流検出型表面プラズモン共鳴センサの生体分子計測への適用
• 電流検出型表面プラズモン共鳴センサの Au/n-Si Schottky 界面における拡散の影響 [ResearchMap]
• 完全吸収メタマテリアルを用いた土壌pHワイヤレスモニタリングセンサ
• Burkholderia近縁種を対象としたドリル運動の流路幅依存性検証 [ResearchMap]
• 微小流体デバイスを用いた Helicobacter 属細菌の運動戦略の可視化 [ResearchMap]
• LOCATION AND VELOCITY DETECTION OF EDIBLE WIRELESS CAPSULE SENSOR FOR DIGESTIVE SYSTEM MONITORING [ResearchMap] [ResearchMap]
• AN EDIBLE WIRELESS SENSOR USING PIEZOELETCRIC BROCCOLI/CELLULOCE FILM WITH SPLIT-RING RESONATORS FOR GASTRIC MOTILITY SENSING [ResearchMap] [ResearchMap]
• ENVIRONMENTALLY DISPERSIBLE AND FULLY BIODEGRADABLE WIRELESS UREA SENSOR FOR SOIL MONITORING [ResearchMap] [ResearchMap]
• Advancing Near-Infrared Photodetection and Spectroscopy Through Interlayer Integration
• シリコンMEMSを用いた赤外線分光センサ
• マイクロ流体デバイスで実現する細菌オリンピック
• 狭小空間がHelicobacter pyloriのドリル運動を誘起する
• Reconstructive Spectrometer Using Plasmonic Photodetector
• IEEE NEMS2024報告
• APPLICATION OF CURRENT DETECTION SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR USING SILICON AND GOLD GRATING FOR BIOMOLECULAR MEASUREMENT
• Analysis of Temperature-Dependent photosensitivity of 2D Nanohole-Based PtSi/p-Si Schottky Mid-Infrared detector
• Responsivity Dynamics of Au-Si Interdiffusion Effects in Surface Plasmon Resonance Sensors
• Noise Characteristics of Backside Coupled Propagating Surface Plasmon Resonance with Wafer Side Detection
• Posture evaluation of tubular microparticles in microfluidic channel
• Hydrogel on a split ring resonator Soil water content sensing using swelling characteristics
• 土壌センシングに向けた等方性メタマテリアルの反射特性評価
• チタンを用いた低障壁化表面プラズモン共鳴式光検出器による分光法における応答性の定量検証
• スプリットリング共振器上のハイドロゲルの膨潤特性を利用した土壌水分量センシング
• 胃の運動機能センシングのための可食性圧電ワイヤレスカプセルセンサ
• Advancing Near-Infrared Photodetection and Spectroscopy Through Interlayer Schottky Plasmonic Photodetectors
• 赤外～テラヘルツの波長帯の電磁波センシング・制御
• プラズモニック光検出を利用したセンサの展開
• プラズモニック赤外線シリコン半導体センサによる分光デバイス
• Spectroscopy for Continuous Light with a Submicron Grating Mems Cantilever Plasmonic Photodetector [Othres link]
• Enhanced Photodetection Capabilities of Smaller Size 2D Au/PtSi/P-Si Nanohole Array-Based MIR Schottky Detector
• Electromagnetic Metamaterial Absorbers for Soil Property Evaluation
• Laser-Based Fabrication Process for Piezoresistive Cantilever Using Flash Laser Annealing
• 利⽤者の秀でた成果紹介 電気通信⼤学 菅 哲朗 教授
• 細く狭い環境におけるピロリ菌のユニークな遊泳様式
• サブミクロンピッチ回折格子を持つプラズモニック光検出器による連続的な波長光源を用いた分光
• 土壌特性評価のための電磁メタマテリアル吸収体
• 土壌特性評価に向けた等方性メタマテリアルの反射特性評価
• ガラス基板上を伝搬する表面プラズモン共鳴のウエハ側壁でのショットキー障壁を用いた検出
• スプリットリング共振器上のゲルの膨潤を利用した水分量センシング
• 表面プラズモン共鳴式光検出器を用いた分光法における応答性の定量検証
• 高周波変調光源下でのPtSi/p-Siベースのショットキー型中赤外線検出器の安定性向上
• Mo及びTiを用いた低障壁化プラズモニックショットキー光検出器による室温近赤外光検出
• 電流検出型表面プラズモン共鳴化学量センサの小型システム化 の研究
• 細菌のべん毛巻き付き運動解析のためのマイクロ流体デバイス
• 金回折格子構造による電流検出型表面プラズモン共鳴センサの生体分子計測への適用
• 電流検出型表面プラズモンセンサの温度依存性の研究
• 可食素材のみで構成されたワイヤレス消化器官センサ
• 環境負荷の少ない分解性材料を用いたワイヤレス土壌尿素センサ
• 共生細菌はドリル運動で狭小通路を突破する
• MICROFLUIDIC CHANNELS FOR ANALYSIS OF FLAGELLAR WRAPPING MOTION OF BACTERIA
• 粘性と狭小空間が誘起するピロリ菌のドリル運動
• Si Plasmonic MEMS device for infrared sensing
• 円二色性を高めるスパイラルメタマテリアル構造の研究
• 電流検出型SPR化学量センサの小型システム化の研究
• 環境センシング用メタマテリアル
• べん毛の巻き付け運動を行う微生物の運動解析に適したマイクロ流路の構築
• 視覚刺激と触覚刺激による感情制御の実現可能性の研究
• 金回折格子構造による電流計測型SPRセンサの生体分子計測への適用
• ISOTROPIC DEGRADABLE METAMATERIAL FOR ENVIRONMENTAL SENSING
• NEAR-INFRARED GAS SPECTROSCOPY BASED ON PLASMONIC PHOTODETECTOR APPLIED FOR MULTIPLE GAS SPECIES
• WIRELESS URINE MONITORING WITH PASSIVE ANNTENA USING SPLIT RING METAMATERIAL
• NANO-WIDTH ZIGZAG FLEXURE STRUCTURES FOR HIGHLY TUNABLE GRATING PITCH [ResearchMap]
• WIRELESS SOIL PH SENSING USING ISOTROPIC DEGRADABLE ARRAY SENSOR
• Symbiotic bacteria break through the host's narrow gate by flagellar wrapping
• GHz帯におけるMg等方性メタマテリアルの反射特性評価
• Microfluidics Devices for Analyzing Bacterial Behavior
• プラズモニック分光素子による物質スペクトルの測定
• 生分解材料で構成されたリモート計測用等方性メタマテリアル
• SIDE WALL DETECTION TYPE SPR SENSOR WITH GOLD GRATING ON GLASS
• A STABLE MIR PHOTODETECTOR BASED ON 2D PTSI/P-SI NANOHOLE ARRAYS
• TWISTED AND CONTACTED AU MICRO-RODS 3D CHIRAL METAMATERIALS WITH CIRCULAR DICHROISM VIA AN ABSORPTIVE ROUTE IN LONG-WAVELENGTH INFRARED
• UNIQUE DISPERSION RELATION FOR PLASMONIC PHOTODETECTORS WITH SUBMICRON GRATING
• 切り紙構造を用いた格子間隔可変な回折格子
• プラズモニック分光素子による連続スペクトルの分光の研究
• 遠赤外領域で円二色性を示す薄膜
• プラズモニック光検出器を用いた分光法による複数種のガス計測
• 生分解可能な環境センシングの為の水溶性メタマテリアルプローブ
• 不連続なAu回折格子を用いた電流検出型SPR センサ
• プラズモニック超小型分光素子のための静電変調機構
• ホソヘリカメムシの共生細菌は狭小空間をドリル戦車で泳ぐ
• WIRELESS SOIL PH SENSING IN OUTDOOR ENVIRONMENT WITH PH- SELECTIVE FULLY-DEGRADABLE METAMATERIAL ANTENNA
• Grating-Based Surface Plasmon Resonance Sensor for Visible Light Employing a Metal/Semiconductor Junction for Electrical Readout
• 再構成分光法のための中赤外ディテクタ集積デバイス
• ナノ構造を備えたシリコン製低障壁ショットキー中赤外光ディテクタ
• 白色光源を用いた表面プラズモン共鳴式光検出器による分光の研究
• Si Plasmonic device for infrared photodetection and application for sensor devices
• 可視光を用いた表面照射による電流検出型表面プラズモン共鳴センサ
• MEMS力センサによるVR環境下における怒りの定量化
• Reconfigurable Plasmonic Photodetector Integrated with Electrostatic Actuator For Spectrometry [Othres link] [DOI]
• Current Detection SPR Sensor Using Discontinuous Au Grating For Compact Chemical Sensor [Othres link] [DOI]
• Ingestible Wireless Capsule Sensor Made from Edible Materials for Gut Bacteria Monitoring [Othres link] [DOI]
• RECONFIGURABLE PLASMONIC PHOTODETECTOR INTEGRATED WITH ELECTROSTATIC ACTUATOR FOR SPECTROMETRY [DOI]
• Silicon MEMS sensors employing electrical detection of plasmon
• 土壌状態リモート計測のためのGHzメタマテリアルセンサ
• GHz帯における等方性メタマテリアルの反射特性評価
• 生体分子検出のための小型表面プラズモン共鳴センサの研究
• 生分解性土壌pHセンサの分解特性評価
• プラズモニック超小型分光素子の波長分解能の評価
• 再構成分光法のための特徴的な感度特性を有するプラズモニック中赤外ディテクタ
• 遠赤外領域で片側円偏光吸収を示すシングルミクロンスケールの2層Auキラル構造
• 変形後の形状が調整可能な切り紙キラルメタマテリアル構造
• 生分解性電磁メタマテリアルを用いた土壌 pHワイヤレスセンサ
• Split-Ring-Shaped Biodegradable pH Sensor for Wireless and Battery-Free Monitoring of Agricultural Fields [Othres link] [DOI]
• Single-Micron Scale Two-Layer Micro AU Chiral Structure with Circulary Polarized Light Absorption in FIR Region [Othres link] [DOI]
• Reconstructive Spectrometer Based on Plasmonic Schottky Photodetector with MEMS Angular Modulator [Othres link] [DOI]
• 新しいMEMS光センサによる環境センシング技術の展開,
• らせん状キラルメタマテリアルにおいて一様な立体変形をもたらす構造の研究
• 生分解性材料を用いた土壌pHワイヤレスセンサ
• RECONSTRUCTIVE SPECTROMETER BASED ON PLASMONIC SCHOTTKY PHOTODETECTOR WITH MEMS ANGULAR MODULATOR [DOI]
• 「血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイスおよび行動変容促進システムの研究開発」 の取組み状況について
• 検出波長を動的に変更可能なプラズモニック光検出器の分光用途への応用可能性
• 表面プラズモン共鳴式光検出器を用いた近赤外分光法によるガス検出
• 可視域で片側円偏光吸収特性を示す金ナノキラル構造
• MEMSプラズモニック構造・電磁メタマテリアルの応答解析
• プラズモニックMEMSによる新規光センサの研究紹介
• 背面光照射による表面プラズモン共鳴のためのMEMS回折格子構造
• プラズモニクスMEMSとコロナ下のラボ運営状況
• 半導体プラズモニックセンサを用いた環境化学量計測小型センサ
• ブロックコポリマーテンプレートへの極低温斜方蒸着による金ナノキラル構造の製作
• 角度可変MEMSプラズモニック光検出器を用いた分光機能の実証
• 金属ナノキラル構造を用いた薄型片側円偏光吸収フィルタ
• Plasmonics Based Photodetector Devices and Applications
• Miniaturization of SPR Chemical Sensor Using Electrical Detection and Backside Illumination to Au grating
• シリコンナノホール内の銅共鳴構造を用いた赤外線ディテクタ
• Si基板上金回折格への背面照射と電気的検出によるSPR化学量センサの小型化
• シリコン型SPRセンサへの効率的な近赤外光導入のためのモスアイ構造
• 角度可変 MEMS による検出波長走査可能なプラズモニック金回折格子型光検出器
• 小型デバイス領域とレンズ集光を使用したAu/Siナノアンテナ光検出器のS/N改善
• 機械的変形可能な3DキラルTHzメタマテリアル
• MEMS技術を用いた赤外光向けセンサ・デバイスの展開
• 表面プラズモン共鳴式光検出型分光法を用いた近赤外ガス吸光計測
• Au Nano-Spiral Structure for Circular Dichroic Filter in Visible Region [DOI]
• S/N Improvement of Au/Si Nano-Antenna Photodetector Using Small Device Area and Converging Lens [DOI]
• Infrared Detector Using Organic Nano-Pillar Arrays [DOI]
• Infrared Photodetector with Copper Infrared Resonator Placed in Nano-Hole Array on Silicon Substrate [DOI]
• Auナノスパイラル構造を用いた円二色性フィルム
• 高効率光吸収ナノ構造と背面照射を用いた金/シリコン赤外光検出器の性能向上
• S/N Improvement of Nano-cuboid Photodetector Using Combination of Small Device Area and Converging Lens
• Si基板上金回折格子への背面照射によるSPR励起
• 近赤外域を対象としたプラズモン光検出型分光法
• プラズモニック金回折格子を備えた振動MEMSによる近赤外分光器
• MEMS Reconfigurable Chiral Metamaterial for Terahertz Frequency
• Schottky barrier modulation for electronic shutter operation of Si based IR photodetector
• SPR検出のためのAu回折格子を備えたMEMSカンチレバーの振動を用いた近赤外分光器の小型化
• 金回折格子を有するショットキー型光検出器による赤外分光システム
• MEMSキラルメタマテリアル応答のTHz計測
• 金格子構造による電流検出型表面プラズモン共鳴化学量センサの研究
• Current Detection Type SPR Sensor Using Au Grating and Backside Illumination
• Miniaturization of a grating-based SPR type near-infrared spectrometer by using vibration of a MEMS cantilever [Othres link] [DOI]
• スパイラル管路とピエゾ抵抗型カンチレバー素子による角加速度センサ—Angular acceleration sensor with spiral gas channel and piezoresistive cantilever [Othres link]
• 金アンテナ構造によるプラズモン共鳴を用いた中赤外シリコンフォトディテクタ
• 金回折格子を有するショットキー型光検出器による近赤外分光器
• 自立構造型可変メタマテリアル
• 金回折格子を有するショットキー型光検出器による近赤外分光器 [Othres link]
• 自立構造型可変メタマテリアル [Othres link]
• Si Based MEMS Near-Infrared Photodetector and Application for Oxygen Saturation Measurement
• MEMS赤外検出デバイスとその分光応用展開 [Othres link]
• Silicon Based Mid-Infrared Photodetectors Using Plasmonics Gold Nano-Antenna Structures [DOI]
• MEMS近赤外光検出デバイスによる血中酸素飽和度計測の研究
• ワンチップSPRセンサのための金回折格子型Si近赤外検出器
• MEMSキラルメタマテリアル
• Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ—Near-Infrared Si Based Photodetector Using Au/Si Nano-Pillar Array [Othres link]
• Chirality Swithcable MEMS Spiral Metamaterial
• Chiral Switchable Metamaterial with MEMS Reconfigurable Spiral in THz Frequency
• Silicon near infrared photodetector using organic crystalline nano-pillars
• キラリティ切替可能なMEMSスパイラルメタマテリアルTHz応答解析 [Othres link]
• Si Process Compatible Near-Infrared Photodetector Using Au/Si Nano-Pillar Array [DOI]
• Chiral Switchable THz Metamaterial with MEMS Reconfigurable Spirals
• Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ [Othres link]
• 可動MEMSスパイラル構造による偏光変調デバイス [Othres link]
• Chiral THz tunable metamaterial with MEMS technology
• MEMS可変スパイラルメタマテリアルのテラヘルツ応答 [Othres link]
• 3D STRUCTURAL FORMATION UTILIZING GLASS TRANSITION OF A RARYLENE FILM [Othres link] [DOI]
• A near infrared schottky photodetector using surface plasmon resonance of Au grating on a tilting mirror for spectroscopy [DOI]
• サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計 [Othres link]
• 金回折格子によるSPRを用いた近赤外光Siディテクタアレイ [Othres link]
• テラヘルツ帯メタマテリアルにおけるSRRのカップリング現象 [Othres link]
• Traction force of smooth muscle cell during growth on a rigid substrate [DOI]
• Near infrared photo-detector using self- assembled formation of organic crystalline nanopillar arrays [DOI]
• Tunable metamaterials by controlling sub-micron gap for the THz range [Scopus] [Scopus] [DOI]
• 薄膜Si上に形成したMEMS可変メタマテリアルにおけるフレームの影響 [Othres link]
• TUNABLE METAMATERIALS BY CONTROLLING SUB-MICRON GAP FOR THE THZ RANGE [Othres link] [DOI]
• LONG STROKE OUT-OF-PLANE ACTUATOR USING COMBINATION OF ELECTROSTATIC AND PNEUMATIC FORCES [Othres link] [DOI]
• 構造変形による可変スパイラルメタマテリアル [Othres link]
• Fabrication and experimental evaluation of MEMS spiral metamaterial for tunable THz optical activity
• Wavelength-selective silicon near infrared photodetector using surface plasmon resonance enhancement [DOI]
• Double-layer wire grid polarizer for improving extinction ratio [DOI]
• Spiral metamaterial for tunable circular dichroism [DOI] [Scopus] [Scopus]
• A piezoresistive cellular traction force sensor [DOI]
• Quantitative evaluation of the influence of dopaminergic neuron on flapping locomotion [DOI]
• Measurement Method of Light Transmittance of Layered Metal-Dielectric Metamaterial [DOI]
• エラストマ上に配置したナノ粒子ペアを用いた歪センサ [Othres link]
• Particle sensor using an ultra- thin piezo resistive cantilever
• Particle sensor using an ultra-thin piezo resistive cantilever
• Carbon dioxide detection by surface plasmon resonance with ionic liquid [DOI]
• Triaxial force sensor with strain concentration notch beam for measurement of insect flight force [DOI]
• Functionalized micro bead with liquid-core Parylene-shell structure [DOI]
• Double-Layer Split-Ring-Resonator Array Fabricated Using Scalloping Structure [DOI]
• TRIAXIAL FORCE SENSOR WITH STRAIN CONCENTRATION NOTCH BEAM FOR MEASUREMENT OF INSECT FLIGHT FORCE [DOI]
• CARBON DIOXIDE DETECTION BY SURFACE PLASMON RESONANCE WITH IONIC LIQUID [DOI]
• FUNCTIONALIZED MICRO BEAD WITH LIQUID-CORE PARYLENE-SHELL STRUCTURE [DOI]
• サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸力センサ [Othres link]
• Nanoprobe electrodes cut by physical stretch of parylene-insulated carbon nanotube bridges [DOI]
• Micro bead type temperature sensor with ratiometric fluorescence dyes encapsulated by Parylene [DOI]
• Micro suction cup array for wet/dry adhesion [DOI]
• A gas sensor based on viscosity change of ionic liquid [DOI]
• A GAS SENSOR BASED ON VISCOSITY CHANGE OF IONIC LIQUID [DOI]
• MICRO BEAD TYPE TEMPERATURE SENSOR WITH RATIOMETRIC FLUORESCENCE DYES ENCAPSULATED BY PARYLENE [DOI]
• MICRO SUCTION CUP ARRAY FOR WET/DRY ADHESION [DOI]
• Optial measurement of strain using scattering from nanoparticle pairs on elastomer [DOI]
• SPR photo diode detector using transportation phenomenon of photon and electron coupling [DOI]
• Nanoprobe electrodes cut by physical stretch of Parylene-insulated carbon nanotube bridges [DOI]
• Si nano-pillars for measuring traction force exerted by filopodia [DOI]
• Long- range SPR sensor with micro liquid channels for maintaining symmetrical condition
• Long-Range SPR Sensor with Micro Liquid Channels for Maintaining Symmetrical Condition
• Integration method of bridging- structural CNTs into Si wafer by stamping transfer
• マイクロ・ナノ転写法によるパターニング評価(第2報)(機素潤滑設計I,一般講演) [Othres link]
• Triaxial force measurement cantilever by sidewall-doping with rapid thermal diffusion [DOI]
• Photo-response compensated piezoresistive cantilever for use in fluorescence microscopy [DOI]
• Force sensor based on metal nanoparticle [DOI]
• TRIAXIAL FORCE MEASUREMENT CANTILEVER BY SIDEWALL-DOPING WITH RAPID THERMAL DIFFUSION [DOI]
• FORCE SENSOR BASED ON METAL NANOPARTICLE [DOI]
• PHOTO-RESPONSE COMPENSATED PIEZORESISTIVE CANTILEVER FOR USE IN FLUORESCENCE MICROSCOPY [DOI]
• ナノピラー構造を用いたSPRセンサの高感度化 [Othres link]
• Nano-pillar structure for sensitivity enhancement of SPR sensor [DOI]
• Nano-mechanical structure fabrication technology for highly integrated, complex MEMS
• Nano-Mechanical Structure Fabrication Technology for Highly Integrated, Complex MEMS
• Micro liquid prism [DOI]
• Integration of bridging- structural SWNTs on flexible PDMS sheet by stamping transfer [DOI]
• INTEGRATION OF BRIDGING-STRUCTURAL SWNTS ON FLEXIBLE PDMS SHEET BY STAMPING TRANSFER [DOI]
• MICRO LIQUID PRISM [DOI]
• Siプリズムと回折格子を備えたMEMS近赤外用SPRセンサ [Othres link] [DOI]
• Tunable SPR coupler by flexible polymer grating [DOI]
• Experimental analysis of liposome water two phase flow in micro channel for localizing reaction system using liposome
• Nano- pattern replication using Parylene thin film for optical applications [DOI]
• Measurement of light intensity field with a fluorescent bead cantilever [DOI]
• Sub- micron aperture plate for intracellular calcium measurement [DOI]
• Cell-culture plate with sub-micron aperture array for near-field fluorescent measurement [DOI]
• 微小集光プローブを用いた細胞用蛍光計測システム [Othres link]
• Thin-film waveguide with lens effect terminal for optical sensing device [Othres link] [DOI]
• 非拘束条件下における多種感覚刺激を用いた昆虫行動解析システム [Othres link]

書籍等出版物

• メタマテリアルの設計、作製と 新材料、デバイス開発への応用

作品等

共同研究・競争的資金等の研究課題

• 消化管モニタリング用「完全」可食型カプセルセンサの ワイヤレス電磁波計測
• 生分解メタマテリアルを用いた環境ワイヤレスセンシング
• メタサーフェスSiハイパースペクトル赤外光センシングデバイス
• In vivoドリル戦車の可視化と動態計測
• 表面プラズモン共鳴小型半導体化学量センサの実用検証
• 微生物が動く意味～レーウェンフックを超えた微生物行動学の創生～
• シリコン製赤外分光型ガスセンサの研究開発
• 環境・食品情報モニタリングのための完全自然分解型ワイヤレスセンサ
• 切り紙構造を利用した特性可変光学メタマテリアル
• 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発
• ウイルス可視化のためのプラズモニック半導体センサ
• 電流検出型表面プラズモン共鳴センサにおける高感度信号検出技術基盤の研究
• NEDO IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発／超微小量センシング技術開発／血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発
• MEMSキラルメタマテリアルによるテラヘルツ分光方法の研究
• 半導体SPRセンサによるコロナウイルスのリアルタイム分布可視化技術開発
• NEDO IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発／超微小量センシング技術開発／血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発
• 変形状態での微小流体制御と精密計測を可能とするマイクロソフトポンプの開発
• 化学量精密計測可能な電気検出型ラベルフリーセンサの研究
• 紫外線硬化材料の屈折率変化を利用した3次元MEMSフォトリソグラフィ
• NEDO IoT社会実現のための超微小量センシング技術開発／超微小量センシング技術開発／血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発(令和元年度分増額)
• 次世代人工知能・ロボット中核技術開発/(革新的ロボット要素技術分野)味覚センサ/ロボットに実装可能なMEMS味覚センサ
• AU NANO-SPIRAL STRUCTURE FOR CIRCULAR DICHROIC FILTER IN VISIBLE REGION
• 空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発
• 空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発
• 表面プラズモン共鳴の電流検出による内視鏡先端に搭載可能な超小型分光器の研究
• ナノ粒子プラズモンによる超回折限界精度での熱励起を用いた微細構造の選択的駆動
• 円偏光可変スパイラルメタマテリアルによるTHz偏光変調フィルタ
• 電流直接検出による回折格子型ポータブル近赤外SPR化学量センサ
• 単一細胞の力刺激反応計測のためのＭＥＭＳカンチレバー
• 金ナノディスクペアの局所表面プラズモン共鳴を利用した光計測型応力センサの研究

メディア報道

• Next Tech2050 センサー食べて健康管理(日経産業新聞)
• 文科省ナノテク事業最優秀賞 東大など研究が選出(日刊産業新聞)
• 新聞報道：電通大、分光器をMEMSで量産 ガス検出・ロボ応用(日刊工業新聞)

産業財産権

• 赤外線検出素子およびその製造方法
• 円二色性フィルタ、光学素子、有機エレクトロルミネッセンス素子、及び円二色性フィルタの製造方法
• 角加速度センサ
• 分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法
• 分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法
• 円二色性フィルタ、光学素子、ディスプレイ及び円二色性フィルタの製造方法
• 計測用デバイス及び計測センサ
• 計測用デバイス及び計測センサ
• 角加速度センサ
• 分光用デバイス、分光器、及び分光測定方法
• ジャイロセンサ
• 計測用デバイス及び計測センサ
• 光学素子（光学素子、光学素子製造方法及び光学素子製造装置）
• 光検出器
• 光検出器
• 塵埃センサ
• 塵埃センサ
• 電磁波素子の製造方法
• 電磁波素子の製造方法
• 撮像装置及び撮像装置の作動方法
• 撮像装置及び撮像装置の作動方法
• 光学素子、光学素子製造方法及び光学素子製造装置
• 撮像素子およびこれを用いた撮像装置
• 撮像素子およびこれを用いた撮像装置
• ジャイロセンサ
• ガスセンサ
• ガスセンサ
• 流速センサ
• 差圧センサ
• 差圧センサ
• 血圧センサシステム及びその血圧計測方法
• 光検出器
• 流速センサ
• 血圧センサシステム及びその血圧計測方法
• 光学素子及び撮像装置
• 光学素子及び撮像装置
• 塵埃センサ
• 撮像装置及び撮像方法
• 近接場照明光学系、近接場光学顕微鏡および近接場光形成方法
• ガスセンサ
• Near-field optical microscope, near-field optical probe, and sample observation method
• ジャイロセンサ
• 電磁波素子
• 撮像素子およびこれを用いた撮像装置
• 光学情報伝達素子及び光学情報伝達機構
• SPRセンサとSPRセンサを搭載する検査システム
• 超高波数伝達素子およびそれを用いた近接場光学顕微鏡
• 差圧センサ
• 流速センサ
• 流速センサ
• 近接場光学顕微鏡、及び試料観察方法
• 血圧センサシステム及びその血圧計測方法
• 光学素子及び撮像装置
• 血圧センサ、その製造方法及び血圧センサシステム

所属学協会

• IEEE
• 応用物理学会
• 日本機械学会
• 電気学会

委員歴

担当経験のある科目

• 機械知能システム学専攻基礎
• メカトロニクス基礎実験A,B/知能機械工学基礎実験第一, 二
• メカトロニクス
• Precision and Micro Engineering
• マイクロ工学
• Precision and Micro Engineering
• メカトロニクス基礎実験A,B/知能機械工学基礎実験第一, 二
• 計測工学
• 機械知能システム学専攻基礎
• メカトロニクス
• マイクロ工学
• 計測工学
• メカトロニクス基礎実験B
• メカトロニクス基礎実験A
• 機械知能システム学専攻
• メカトロニクス
• メカトロニクス基礎実験A または 知能機械工学基礎実験第一
• 大学院国際協働学術研修
• 計測工学（P4・P5）
• Advanced Robotics and Mechatronics Engineering
• 機械知能システム学専攻基礎
• メカトロニクス
• Advanced Robotics and Mechatronics Engineering
• 機械知能システム学専攻基礎
• メカトロニクス

社会貢献活動

• 出張講義 半導体の技術で小さな機械をつくる（武蔵野北高校）
• 微生物を視る 夏の学校
• 微生物を視る 夏の学校
• 出張講義 半導体の技術で小さな機械をつくる（多摩科学技術高校）

学術貢献活動